1)铝粉直接氮化法
ALN+N2→2ALN将铝粉放入通有氮气与氨气的反应的反应炉中加热到600℃开始反应。我们就能合成大量纯度较高的ALN粉,目前有这种方式的大规模生产。但是这种方法一般难以得到颗粒微细、粒度均匀的氮化铝粉末,通常需要后处理。还有AL颗粒表面氮化后形成ALN层会阻碍氮气向颗粒的中心的扩散,因此采用这种方法转化率是一个重要的问题。
2)氧化铝的碳热还原法
Al203+3C+N2→2AlN+3CO这种方法目前运用在工业生产中运用最为广泛,对其研究进行的比较深入。
在该法中制备氮化铝粉体中常加入氧化钙、氟化钙、氧化钇等作为催化剂,其中加氟化钙更有效的降低活化能,提高反应速率。这种制备的氮化铝粉末纯度高,成形和烧结性能好,但合成温度高反应时间长,粉末粒度较大。
这边需要说明下,如果有懂得金丝键合工艺的小伙伴就比较清楚,表面较为粗糙的有颗粒状明显的氮化铝,如果使用这类的氮化铝溅射薄膜金属,打线时是不太容易键合上的,特别是球焊工艺,很容易出现脱焊状况。
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